位置控制装置

摘要

本发明提供了一种结构，在该结构中用于无振动地操作待驱动结构的推力前馈结构和同时补偿由所述推力前馈结构引起的位置偏差和由基座位移引起的位置偏差的控制结构被包含在位置控制装置(3)中。可选择地，本发明提供了一种结构，在该结构中用于无振动地实现待驱动结构的位置和基座位移的响应的加速和减速处理及确定关于加速和减速处理后的位置指令值的前馈量的控制结构被设置在位置控制装置上。

主权项

1、一种位置控制装置，其中将加速和减速操作应用于待驱动结构的驱动系统被支撑且固定在基座上，并且通过所述待驱动结构的反作用力提供用于在基座中引起的力位移的补偿，并且通过检测由伺服电动机驱动的所述待驱动结构的位置以及根据上位机的位置指令值计算补偿后的位置指令值来控制所述待驱动结构的绝对位置，所述位置控制装置包括：加速和减速处理器，其接收所述位置指令值作为输入并且在加速和减速处理后输出位置指令值，其中输出位置指令值关于时间的三阶导数是有界的；调节传递函数块，其接收补偿后的所述位置指令值作为输入并且输出用于控制的位置指令值；块，其基于补偿后的所述位置指令值计算推力前馈并且将所述推力前馈加到所述伺服电动机的驱动力上；块，其基于加速和减速处理后的所述位置指令值关于时间的导数来计算位置偏差补偿量，所述位置偏差补偿量补偿由于所述调节传递函数造成的位置指令偏差和基座位移；及块，其从加速和减速处理后的所述位置指令值减去位置偏差补偿量，以获得补偿后的所述位置指令值。