光学式非球面测量系统及其平台

摘要

本发明的光学式非球面测量系统包含测量支架、干涉光路系统和光学式非球面测量平台。所述光学式非球面测量平台包含有偏摆旋转机构和半径调整机构。偏摆旋转机构用于提供测量时的偏摆运动，以使所述干涉光路系统得以扫描待测物的整个曲面。半径调整机构用于调整待测物的球心位置，用以与所述偏摆旋转机构的中心位置相重合。

主权项

1.一种光学式非球面测量平台，其特征在于包含：偏摆旋转机构，用于提供测量时的偏摆运动，以使固定测量探头能测量到偏摆直径两端之间的曲面范围；以及半径调整机构，固定在所述偏摆旋转机构之上，用于调整待测物的球心位置与所述偏摆旋转机构的中心位置相重合。