具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件及其制作方法。它是以陶瓷为基片，其上有多对叉指金电极，在陶瓷基片和叉指金电极表面涂敷有具有超支化结构的高分子季铵盐湿敏薄膜。该湿敏元件在宽的湿度范围，特别是在较低湿度环境下均具有阻抗值适中，灵敏度高，线性度好，响应快，回复性佳，稳定性强，在室温下检测等特点，可广泛应用于工农业生产过程、仓储、大气环境监测对于环境湿度精确测量与控制。

主权项

1.具有超支化结构的高分子电阻型湿敏元件，其特征在于：它具有陶瓷基体(1)，在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极(2)，在叉指金电极上连接有引线(4)，在陶瓷基体和叉指金电极表面涂覆有湿敏薄膜(3)，湿敏薄膜为超支化高分子季铵盐湿敏材料。