| 发明名称 |
Apparatus and method for detection of the flight state of a micro object |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1729124(A3) |
申请公布日期 |
2009.04.15 |
| 申请号 |
EP20060252774 |
申请日期 |
2006.05.30 |
| 申请人 |
NGK INSULATORS, LTD. |
发明人 |
YOSHIOKA, KUNIHIKO;OHNISHI, TAKAO |
| 分类号 |
G01N29/24;B06B1/06;B41J2/125;G01H13/00;G01N5/00;G01N29/02;G01N29/04;G01N29/12;G10K11/00 |
主分类号 |
G01N29/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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