发明名称 |
DÜNNFILME FÜR MAGNETISCHE VORRICHTUNGEN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60137791(D1) |
申请公布日期 |
2009.04.09 |
申请号 |
DE20016037791 |
申请日期 |
2001.11.26 |
申请人 |
ASM INTERNATIONAL N.V. |
发明人 |
HUJANEN, JUHA;RAAIJMAKERS, IVO |
分类号 |
G01R33/09;H01L43/12;C23C16/40;G11B5/39;H01F10/16;H01F10/32;H01F41/22;H01F41/30;H01F41/32;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/22;H01L29/82;H01L43/08 |
主分类号 |
G01R33/09 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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