发明名称 DÜNNFILME FÜR MAGNETISCHE VORRICHTUNGEN
摘要
申请公布号 DE60137791(D1) 申请公布日期 2009.04.09
申请号 DE20016037791 申请日期 2001.11.26
申请人 ASM INTERNATIONAL N.V. 发明人 HUJANEN, JUHA;RAAIJMAKERS, IVO
分类号 G01R33/09;H01L43/12;C23C16/40;G11B5/39;H01F10/16;H01F10/32;H01F41/22;H01F41/30;H01F41/32;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/22;H01L29/82;H01L43/08 主分类号 G01R33/09
代理机构 代理人
主权项
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