| 发明名称 |
PRODUCTION OF HARD NITROGEN-CONTAINING CARBON FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08319568(A) |
申请公布日期 |
1996.12.03 |
| 申请号 |
JP19950126125 |
申请日期 |
1995.05.25 |
| 申请人 |
KAMATA KIICHIRO;TOKKI KK |
发明人 |
KAMATA KIICHIRO;SAITO HIDETOSHI;INOUE TORU;SHIOYA FUJIO;YANAGI YUJI |
| 分类号 |
B23P15/28;C01B21/082;C23C16/26;C23C16/34;C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
B23P15/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
