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发明名称 Silicon-containing antireflective coating forming composition, silicon-containing antireflective coating, substrate processing intermediate, and substrate processing method
摘要
申请公布号 EP1788012(B1) 申请公布日期 2009.04.08
申请号 EP20060255863 申请日期 2006.11.16
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 OGIHARA, TSUTOMU;IWABUCHI, MOTOAKI;ASANO, TAKESHI;UEDA, TAKAFUMI
分类号 C08G77/48;C09D183/14;G03F7/09 主分类号 C08G77/48
代理机构 代理人
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