发明名称 |
氮化物单晶的制造装置 |
摘要 |
本发明提供一种氮化物单晶的制造装置,该装置具备:用于收纳溶液的坩埚、收纳坩埚的内侧容器(16)、收纳内侧容器(16)的加热容器(31)和压力容器(30);所述加热容器(31)具备发热体(14)、设置发热体(14)的容器主体(13)以及与容器主体(13)组合的盖子(12);所述压力容器用来收纳加热容器(31)并填充有至少含有氮气的氛围气体。盖子(12)对于容器主体的配合面(12b)相对水平面倾斜。 |
申请公布号 |
CN101405439A |
申请公布日期 |
2009.04.08 |
申请号 |
CN200780009865.2 |
申请日期 |
2007.03.14 |
申请人 |
日本碍子株式会社;国立大学法人大阪大学;丰田合成株式会社 |
发明人 |
岩井真;下平孝直;佐佐木孝友;森勇介;川村史朗;山崎史郎 |
分类号 |
C30B29/38(2006.01)I;C30B9/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/38(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人 |
钟 晶 |
主权项 |
1.一种氮化物单晶的制造装置,其为使用含有助熔剂和原料的溶液来生长氮化物单晶的装置,其特征在于,具备:用于收纳所述溶液的坩埚、收纳所述坩埚的内侧容器、收纳所述内侧容器的加热容器以及压力容器;所述加热容器具备发热体、设置该发热体的容器主体以及与该容器主体组合的盖子;所述压力容器用来收纳所述加热容器并填充有至少含有氮气的氛围气体;所述盖子对于容器主体的配合面相对水平面倾斜。 |
地址 |
日本爱知县 |