水相碱性光阻清洗组合物及其使用方法

摘要

本发明涉及一种水相碱性光阻清洗组合物，其包括，以组合物总重量计，1-50重量％的至少一种碱性化合物；0.1-20重量％的至少一种二胺类化合物及30-98.9重量％的水，且组合物的pH值大于12。本发明的光阻清洗组合物，可依照实际制程需求于使用前予以升温及/或稀释。另外，由于未包含有机溶剂，因此能安全的在一般操作环境下使用。

主权项

1.一种水相碱性光阻清洗组合物，其由以下成分所组成：(a)以组合物总重量计1到50重量％的至少一种碱性化合物；(b)以组合物总重量计0.1到20重量％的至少一种二胺化合物；(c)以组合物总重量计30到89重量％的水；和(d)以组合物总重量计0.01到3重量％的使清洗组合物表面张力小于40mN/m的至少一种表面活性剂，其中所述组合物的pH值大于12；所述至少一种碱性化合物是选自氢氧化钠或氢氧化钾或其混合物的碱金属类氢氧化物或具有如下式的氢氧化四级铵化合物其中R₁、R₂、R₃及R₄可为相同或不同，分别独立为具有1到6个碳的烷基或羟烷基；所述至少一种二胺化合物是选自由乙二胺、丙二胺、丁二胺、戊二胺、己二胺、苯二胺、二乙二胺、三乙二胺和四乙二胺所组成的群组；而所述表面活性剂是选自由阴离子型、阳离子型及非离子型表面活性剂所组成的群组。