基片传输装置及半导体加工设备

摘要

本发明公开了一种基片传输装置及半导体加工设备，基片传输装置包括传输皮带，传输皮带的旁边对应于传输的基片的位置设有推动片，推动片通过电机驱动，能对基片进行精确定位和校准。可以在传输皮带沿传输方向的一端或两端设有推动片；还可以在传输皮带沿传输方向的一侧或两侧设有推动片。应用在太阳能电池制造工艺中的等离子气相沉积设备或其它的半导体加工设备中，可以解决基片在传输过程中的位置精确较准问题，保证了基片在制程设备的载板上的准确位置，达到较好的工艺效果。

主权项

一种基片传输装置，包括传输皮带，其特征在于，所述传输皮带的旁边对应于传输的基片的位置设有推动片，所述推动片通过驱动装置驱动。