循环成核法

摘要

本发明公开了用于各种清洗和表面处理应用的使蒸汽泡成核，生长，分离，内爆以及崩溃的表面处理。该方法可以通过，除了真空/压力以外，交替改变温度和化学以在流体中产生脉冲和持续的作用而完成。一方面，热循环成核法使用控制加热和冷却过程的温度循环，并且使用或不用真空循环来清洗精细表面。另一方面，化学循环成核使用化学蒸汽/流体的变化浓度的流体混合物来产生、生长蒸汽泡以通过崩溃或内爆蒸汽泡来处理表面。不同的化学蒸汽或液体可以直接在表面上形成化学混合物来抑制或消除粒子的再沉淀，并且可以被设计来促进表面污染物快速的化学溶解和分解。

主权项

一种用于处理物体的方法，其包括：引入清洗液体以浸没所述物体的至少一部分；和交替改变所述物体的温度以导致减压气泡在所述物体的浸没表面形成和终止。