主权项 |
平面物形成球面像的投影光学系统设计方法,是通过光学系统设计实现的,其特征在于该投影光学系统是由准直物镜组2和同心球面物镜组4的有机配合构成的,首先设计同心球面物镜组4,使它满足如下条件:所有组合的镜片都是同心球面,光阑在球心C处,球心C到标准R像面6的距离C0=R,R为球心至球面像的距离,以球心C为圆心,以R为半径的弧面就是标准R的像面6,为了使同心球面物镜组4形成正光焦度,在球心C处放置一个同心球面正透镜5;同心球面物镜组4设计后,确定了有关参量的位置,再进行准直物镜组2的设计,使它满足以下条件:准直物镜组2是一个像方远心的准直物镜,从准直物镜组2发出的射向同心球面物镜组4的光线,必须是平行光线,准直物镜组2和同心球面物镜组4的匹配中,一定要将准直物镜组2的光阑设置在同心球面物镜组4的入瞳上;选择一个平面发光物1,经投影光学系统成像后生成一个标准半径R的球面像,R的大小取决于同心球面物镜组4的光焦度的大小,用本发明方法完成的投影光学系统可逆向,使球面物形成平面像。 |