用于沉积物质的印刷头装置和方法

摘要

一种用于将物质沉积到基片上的系统和方法包括在输送方向上连续地输送基片，同时使沉积装置横越基片以将物质沉积在多个条中。在这种移动期间控制沉积装置和基片相对于彼此的位置以使得各条彼此互补以提供基片的基本上均匀的覆盖。所定义的装置使得因为对于基片来说在各横越中不需要停止，所以能获得改进的基片速度。

主权项

一种将物质沉积到连续供给的基片上的方法，所述方法包括：在输送方向上连续地输送所述基片；使沉积装置在横越方向上横越所述基片以将所述物质沉积在多个条中；控制所述沉积装置和所述基片的相对移动以使得所述条彼此互补以提供对所述基片的基本上均匀的覆盖。