复合信息处理装置及处理方法

摘要

以往，存在无法考虑到由制造设备的调整引起的测量数据的变动而适当地对制造设备的异常的产生进行判断的问题。本发明的一种复合信息处理装置包括：监控公式存储部(103)，存储监控公式，该监控公式是对在制造设备正常的状态下与由变更了可调整的条件的情况下的该制造设备处理的多个测量对象的、有关联的两个以上的测量项目相关的测量数据进行主成分分析而取得的、计算一个以上的主成分得分的公式；监控测量数据接收部(104)，接收对由制造设备处理的测量对象测量的、与构成监控公式的各项所对应的测量项目相关的监控测量数据；主成分得分计算部(105)，利用监控测量数据，根据监控公式，计算主成分得分；监控部(106)，利用计算的主成分得分，对制造设备进行监控；以及输出部(107)，输出监控结果。

主权项

一种复合信息处理装置，其特征在于，包括：监控公式存储部，存储监控公式，该监控公式是对正常测量数据进行主成分分析而取得的计算一个以上的主成分得分的公式，所述正常测量数据是在制造设备正常的状态下与由变更了可调整的条件的情况下的该制造设备处理的多个测量对象的、有关联的两个以上的测量项目相关的测量数据；监控测量数据接收部，接收监控测量数据，该监控测量数据是对由上述制造设备处理的测量对象测量的、与构成上述监控公式的各项所对应的测量项目相关的测量数据；主成分得分计算部，利用上述监控测量数据接收部接收的监控测量数据，根据上述监控公式计算主成分得分；监控部，利用上述主成分得分计算部计算的主成分得分，对上述制造设备的状态进行监控；以及输出部，输出上述监控部监控的结果。