微振动部件、光偏转器和成像设备

摘要

本发明提供一种能够抑制角速度的波动的共振型微振动部件，具体地说提供一种微振动部件，该微振动部件为一种套装微振动部件，其中存在着基准振动模式和偶数振动模式，所述基准振动模式是基准频率的特征振动模式，所述偶数振动模式是频率近似为基准频率的偶数倍的特征振动模式。

主权项

一种微振动部件，包含：支撑部分；可移动系统，所述可移动系统包括第一可移动元件、将所述第一可移动元件连接到所述支撑部分以使得所述第一可移动元件能够围绕振动轴振动的第一扭力弹簧、第二可移动元件、将所述第二可移动元件连接到所述第一可移动元件以使得所述第二可移动元件能够围绕所述振动轴振动的第二扭力弹簧；用于使所述第一可移动元件和第二可移动元件围绕所述振动轴振动的驱动部分；以及用于控制所述驱动部分的驱动控制部分，其中，所述可移动系统具有基准振动模式和偶数振动模式，所述基准振动模式是基准频率的特征振动模式，所述偶数振动模式是频率为基准频率的1.98n倍～2.02n倍的特征振动模式，其中n为1或更大的整数，并且其中，所述驱动控制部分控制所述驱动部分，以使得所述可移动系统以所述基准振动模式和所述偶数振动模式同时振动。