用于研磨头的夹持环

摘要

本发明描述了一种具有底座组件、保持环组件、夹持环和柔性膜的研磨头。该夹持环具有环形上部分和环形下部分，该环形下部分具有比环形上部分的上表面更小内径的下表面，其中该夹持环外周围绕保持环并具有接触研磨垫的下表面。

主权项

一种夹持环，包括：环状圈，具有构造为外周围绕保持环的内表面、构造为接触研磨垫的下表面、具有邻近所述下表面的凹陷的外表面、以及构造为附接于研磨头的上表面，其中所述内表面包括相邻所述下表面的第一区域，该第一区域具有比相邻并位于所述第一区域之上的所述内表面的第二区域更小的内径，其中所述上表面包括多个圆柱凹陷，并且其中所述内表面具有沿所述上表面的内径向内凸起的唇缘，所述凸起的唇缘具有上边缘，所述上边缘构造为在衬底研磨期间当所述保持环磨损时啮合沿所述保持环的外表面的一唇缘的水平下表面。