一种带有连接层的卡盘装置及其制造方法

摘要

本发明涉及一种带有连接层的卡盘装置，包括至少两层绝缘层，在所述每层绝缘层内设有至少一个导电元件，所述的绝缘层之间还设有至少一个连接层，与所述连接层外侧相连的绝缘层中的导电元件数量小于与该连接层内侧相连的绝缘层中的导电元件数量。本发明还涉及一种上述带有连接层的卡盘装置的制造方法。由于本发明设置了金属连接层，并且通过该金属连接层减少了使用加热器所产生的电源接头的数量，尤其在加热器数量较多的时候，效果尤为显著。即：在使用N个独立的加热器回路的情况下，使用现有技术所需要的接头数量为2N个，而使用本发明所需要的接头数量为N+1个。

主权项

一种带有连接层的卡盘装置，其特征在于：包括绝缘层，所述绝缘层至少包括邻近卡盘装置背面的第一绝缘层和远离卡盘装置背面的第二绝缘层，在所述第一绝缘层和第二绝缘层内各设有至少一个导电元件，在所述第一绝缘层和第二绝缘层之间还设有至少一个连接层，所述第一绝缘层中的导电元件数量小于第二绝缘层中的导电元件数量。