用于多光束偏转和强度稳定的装置

摘要

一种用于扫描系统中的多光束发生器，其中所述发生器包括：声光偏转器(AOD)，所述声光偏转器在使用期间接收激光束并产生偏转光束，所述偏转光束的偏转由AOD控制信号确定；衍射元件，所述衍射元件从所述偏转光束产生输入光束阵列；以及控制电路，所述控制电路在操作期间产生所述AOD控制信号并改变第一控制信号的特性以说明所述扫描系统中的误差。

主权项

一种用于扫描系统中的多光束发生器，所述发生器包括：声光偏转器，所述声光偏转器在使用期间接收激光束并产生偏转光束，所述偏转光束的偏转由声光偏转器控制信号确定；衍射元件，所述衍射元件从所述偏转光束产生输入光束阵列；声光调制器，所述声光调制器在使用期间接收所述输入光束阵列并根据声光调制器控制信号对所接收光束中的每个单独进行调制以产生输出光束阵列，所述输出光束阵列由扫描系统在扫描区域上扫描；以及控制电路，所述控制电路在操作期间产生所述声光偏转器控制信号并根据所述扫描系统中的误差来改变所述声光偏转器控制信号的特性，所述误差来源于下列至少一项：(1)所述扫描系统内扫描线上的光束的速度变化，(2)与所述扫描系统有关的强度变化，以及(3)所述声光调制器内声场中来自条偏转的强度变化。