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Um fähig zu sein, eine noch kleinere und noch leichtere Bauweise zu erreichen, und um die Empfindlichkeit durch ein noch effizienteres Detektieren der Röntgenfluoreszenzstrahlung oder Ähnlichem in einer Röntgenröhre und einem Röntgenanalysegerät zu begünstigen, sind vorgesehen: ein Vakuumgehäuse (2), dessen Inneres in den Vakuumzustand gebracht ist, und welches einen aus einer röntgendurchlässigen Folie gebildeten Fensterbereich (1) umfasst, wobei sich durch die röntgendurchlässige Folie ein Röntgenstrahl fortpflanzen kann, eine Elektronenstrahlungsquelle (3), welche im Innern des Vakuumgehäuses (2) zur Abstrahlung eines Elektronenstrahls (e) angeordnet ist, ein Target (T) zur Generierung primärer Röntgenstrahlung (X1) durch Bestrahlung mit dem Elektronenstrahl (e), und welches im Innern des Vakuumgehäuses (2) angeordnet ist, um fähig zu sein, die primäre Röntgenstrahlung (X1) auf eine äussere Probe (S) durch den Fensterbereich (1) abzustrahlen, und ein Röntgenstrahlungsdetektierungselement (4), welches im Innern des Vakuumgehäuses (2) angeordnet ist, um fähig zu sein, die Röntgenfluoreszenzstrahlung und die Röntgenstreustrahlung (X2) zu detektieren, welche von der Probe (S) abgestrahlt werden, und welche vom Fensterbereich (1) einfallend sind, um ein Signal auszugeben, welches die Energieinformation der Röntgenfluoreszenzstrahlung und der Röntgenstreustrahlung (X2) umfasst.
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