发明名称 RESIN FOR RESIST, POSITIVE RESIST COMPOSITION, AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 KR100985431(B1) 申请公布日期 2010.10.05
申请号 KR20087018857 申请日期 2004.08.10
申请人 发明人
分类号 G03F7/039;C08F220/18;C08F220/28;G03F7/004;H01L21/30 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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