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发明名称 STICKING METHOD AND STICKING DEVICE OF STICKING MATERIAL
摘要
申请公布号 KR20100118558(A) 申请公布日期 2010.11.05
申请号 KR20107007969 申请日期 2008.12.19
申请人 TATEYAMA MACHINE CO., LTD. 发明人 SHIMIZU TAKASHI;MATSUI KAZUHIRO;KAWAKAMI KAZUSHI;BABA KYOKO;IWAKI HIROTO;TAKANO TADAYUKI;MORINAGA TAKAYUKI;HORITA RYOSUKE;KANO KAZURO
分类号 H01L21/301;H01L21/304;H01L21/683 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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