| 主权项 |
一种溅镀设备的旋转架装置，安装在一溅镀腔内，并供至少一个待镀物设置，该溅镀设备的旋转架装置包含：一个支架，包括一个第一夹持单元，该第一夹持单元包括一个圈绕的导引部；一个旋转机构，可旋转地安装在该支架上，并包括一个可旋转的轴杆，及一个安装在该轴杆上且可旋转的第二夹持单元，该第二夹持单元具有一个带动组；及数个置物架，分别夹设在该第一夹持单元的导引部与第二夹持单元的带动组间，并且可被该带动组带动而沿着该导引部滚动，每一置物架都包括一个倾斜且朝外并可供该待镀物设置的置物面。依据申请专利范围第1项所述之溅镀设备的旋转架装置，其中，每一置物架还包括一个圆形且抵靠该导引部的传动组，该第二夹持单元的带动组具有数个可旋转且成对地抵靠其中一个置物架的传动组的定位轮。依据申请专利范围第2项所述之溅镀设备的旋转架装置，其中，该旋转机构还包括一个可带动该轴杆旋转的动力单元，该第一夹持单元还具有一个圆形且以该轴杆为圆心的本体部，该导引部是位在该本体部周缘，该第二夹持单元还具有一个圆形且围绕该轴杆地装设在该轴杆上的安装座，该等定位轮是安装在该安装座上。依据申请专利范围第3项所述之溅镀设备的旋转架装置，其中，该等定位轮与该轴杆间的水平距离大于该导引部与该轴杆间的水平距离。依据申请专利范围第4项所述之溅镀设备的旋转架装置，其中，每一置物架还包括数个位在该置物面上且贯穿的置物穿孔。依据申请专利范围第1项所述之溅镀设备的旋转架装置，其中，该旋转机构还包括一个可带动该轴杆旋转的动力单元，该第一夹持单元还具有一个圆形且以该轴杆为圆心的本体部，该导引部是位在该本体部周缘，该第二夹持单元还具有一个圆形且围绕该轴杆地装设在该轴杆上的安装座，每一置物架还包括一个圆形且抵靠该导引部的传动组，该带动组具有一个形成在该安装座边缘且可供该等置物架插设的环沟，及一个圈绕地位在该环沟内且可与该等传动组囓合的囓合部。依据申请专利范围第6项所述之溅镀设备的旋转架装置，其中，该囓合部与该轴杆间的水平距离大于该导引部与该轴杆间的水平距离。依据申请专利范围第7项所述之溅镀设备的旋转架装置，其中，每一置物架还都包括数个贯穿且位在该置物面上的置物穿孔。 |
