非球面透镜的面偏移测量方法与装置

主权项

一种非球面透镜的面偏移测量方法，在二个透镜面中至少一方为非球面的被检测透镜，测量该二个透镜面各自轴之间的相对位置偏移的面偏移，该非球面透镜的面偏移测量方法，包括：彗形像差测量步骤，使用具备衡消光学元件的干涉仪进行该被检测透镜的穿透波前测量，根据由该测量所得到的干涉条纹图像来求出该被检测透镜的彗形像差；面偏移彗形像差计算步骤，从该彗形像差测量步骤所求出的该彗形像差减去由于该2个透镜面各自轴之间相对倾斜错位的面倾斜而产生的预先求出的面倾斜彗形像差，计算由于该面偏移而产生的面偏移彗形像差；以及面偏移计算步骤，根据该面偏移彗形像差计算步骤中所计算的该面偏移彗形像差，计算该面偏移。