保护干涉测量调变器免于静电放电（ＥＳＤ）之方法及装置

主权项

一种MEMS装置，其包括：一可移动元件；一电导体，其经组态以载送一可有效激励该可移动元件之激励电流；及一保护元件，其以可运作方式附装至该电导体并经组态以至少部分地将该电导体所载送的一过大电流分流接地，该保护元件包括一二极体，该可移动元件、电导体及保护元件系整合形成于一基板上。