| 摘要 |
本发明之课题在于提供一种，即使长时间放置于大气中亦可维持高强度之电激发光元件之萤光体膜形成用溅镀标靶。;本发明之解决手段为一种溅镀标靶，系含有Al为20~50质量%、Eu为1~10质量%，并且具有，剩余部分为以Ba及不可避免的不纯物所构成之组成，且由固溶有Eu之Ba及Al的金属间化合物相所构成之组织，上述固溶有Eu之Ba及Al的金属间化合物相，系由BaAl4金属间化合物相及Ba7Al13金属间化合物相所组成，且为Eu各自固溶于上述BaAl4金属间化合物及Ba7Al13金属间化合物的Ba中之金属间化合物相。 |
