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发明名称
摘要
申请公布号 JP4925314(B2) 申请公布日期 2012.04.25
申请号 JP20070143026 申请日期 2007.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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