发明名称 |
检测和修正光罩图案的方法 |
摘要 |
本发明提供一种检测和修正光罩图案之方法,包含有:输入一光罩图案,其中该光罩图案系由至少一线段所构成;输入一制程规则;选取该线段中符合一定位模式的一边线作为一目标边线,其中该目标边线的两端点分别为一前检查点和一后检查点,且该前检查点和该后检查点各包含有至少一检测方向;沿着该等检查方向于该光罩图案中识别出一相对边线;进行一制程规则检测,提供一修正值;提供一第一偏差值以对该目标边线进行一第一修正;以及提供一第二偏差值以对该相对边线进行一第二修正,其中该第一偏差值和该第二偏差值的总和等于该修正值。 |
申请公布号 |
TWI364064 |
申请公布日期 |
2012.05.11 |
申请号 |
TW097102620 |
申请日期 |
2008.01.24 |
申请人 |
联华电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |
发明人 |
杨育祥;郭惠芳 |
分类号 |
H01L21/027;G03F1/08 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3;戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |