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一种化学放大正光阻组成物，包括(A)树脂，其包括(i)至少一种由式(IV)及(V)之结构单位所组成群选出之结构单位，@sIMGTIF!d10005.TIF@eIMG!其中X3及X4各独立地代表氢原子、具有1至4个碳原子之烷基或具有1至4个碳原子之全氟烷基，Z3及Z4各独立地代表具有1至12个碳原子之二价烃基，n3及n4各独立地代表0至3之整数，R2及R3各独立地代表羟基或羟甲基，G代表-(CO)O-或-O-，R4代表具有1至4个碳原子之烷基或具有1至4个碳原子之烷氧基，以及p及q各独立地代表0至2之整数，(ii)式(I)之结构单位@sIMGTIF!d10004.TIF@eIMG!其中X代表氢原子、具有1至4个碳原子之烷基或具有1至4个碳原子之全氟烷基，Z代表具有1至12个碳原子之二价烃基，R代表具有1至6个碳原子之烷基以及m代表0至2之整数，以及(iii)式(II)之结构单位@sIMGTIF!d10006.TIF@eIMG!其中X1代表氢原子、具有1至4个碳原子之烷基或具有1至4个碳原子之全氟烷基，Z1代表具有1至12个碳原子之二价烃基，n1代表0至3之整数，R1代表具有1至6个碳原子之烷基或具有3至12个碳原子之环烷基，Y代表与邻近之碳原子一起形成脂环族烃基所需之至少两个原子，以及(B)酸产生剂。如申请专利范围第1项之组成物，其复包括式(III)之结构单位@sIMGTIF!d10007.TIF@eIMG!其中X2代表氢原子、具有1至4个碳原子之烷基或具有1至4个碳原子之全氟烷基，Z2代表具有1至12个碳原子之二价烃基，n2代表0至3之整数，以及A代表具有1至12个碳原子之烃基。如申请专利范围第1项之组成物，其中，式(IV)之结构单位中，Z3为亚甲基、伸乙基、三亚甲基或四亚甲基，n3为0或1，以及p为0或1，式(V)之结构单位中，Z4为亚甲基、伸乙基、三亚甲基或四亚甲基，n4为0或1，R4为甲基、乙基、甲氧基或乙氧基，以及q为0或1，式(I)之结构单位中，Z为亚甲基、伸乙基、三亚甲基或四亚甲基，以及m为0或1，以及式(II)之结构单位中，Z1为亚甲基、伸乙基、三亚甲基或四亚甲基，n1为0或1。如申请专利范围第1项之组成物，其中，式(IV)之结构单位系式(XIV)之结构单位@sIMGTIF!d10008.TIF@eIMG!其中X10代表氢原子、甲基或三氟甲基，n10代表0或1，以及p’代表0或1，式(V)之结构单位系式(XV)之结构单位@sIMGTIF!d10009.TIF@eIMG!其中X11代表氢原子、甲基或三氟甲基，G代表-(CO)O-或-O-，以及n11代表0或1，式(I)之结构单位中，Z为亚甲基且m为0，以及式(II)之结构单位中，Z1为亚甲基，n1为0或1，Y为与邻近之碳原子一起形成二价金刚烷骨架之二价烃基、与邻近之碳原子一起形成二价降@sIMGCHAR!d10112.TIF@eIMG!烷骨架之二价烃基、四亚甲基或五亚甲基。如申请专利范围第1项之组成物，其中，式(IV)之结构单位系式(XVIII)之结构单位@sIMGTIF!d10010.TIF@eIMG!其中X12代表氢原子或甲基，以及q’代表0或1，式(V)之结构单位系式(XL)之结构单位@sIMGTIF!d10011.TIF@eIMG!其中X13代表氢原子或甲基，式(I)之结构单位系式(XI)之结构单位@sIMGTIF!d10012.TIF@eIMG!其中X6代表氢原子、甲基或三氟甲基，以及式(II)之结构单位系式(XVII)之结构单位@sIMGTIF!d10013.TIF@eIMG!其中X90代表氢原子或甲基，R90代表甲基、乙基或异丙基，以及Y90为与邻近之碳原子一起形成二价金刚烷骨架之二价烃基、四亚甲基或五亚甲基。如申请专利范围第2项之组成物，其中，于式(III)中，X2为氢原子、甲基或三氟甲基，Z2为亚甲基、伸乙基、三亚甲基或四亚甲基，n2为0或1，A为具有1至5个碳原子之烷基、具有5至12个碳原子之脂环族烃基或具有6至12个碳原子之芳香族烃基。如申请专利范围第2项之组成物，其中，于式(III)中，X2为氢原子、甲基或三氟甲基，Z2为亚甲基，n2为0或1，以及A为甲基、乙基、正-丙基、正-丁基、异丁基、第三丁基、环戊基、环己基、降@sIMGCHAR!d10113.TIF@eIMG!基、金刚烷基或十氢-1,4：5,8-二甲桥萘基。 |
