发明名称 线锯切割方法
摘要 本发明提供一种线锯切割方法,其包含:将来自切割流体再循环贮存器中的水性切割流体施用于线锯之同时利用此线锯切割工件;监测化学性质、物理性质中之至少一者或两者;及在切割工件之同时调节该切割流体的化学组成以保持所监测之性质。此外,本发明提供一种实施本发明方法之装置。
申请公布号 TWI378836 申请公布日期 2012.12.11
申请号 TW098143970 申请日期 2009.12.21
申请人 卡博特微电子公司 发明人 葛伦拜 史帝芬;纳古 奈文
分类号 B23D61/18 主分类号 B23D61/18
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种线锯切割方法,其包括:将来自一切割流体之再循环贮存器中的水性切割流体施用于线锯之同时利用此线锯切割一工件;在切割该工件时,监测该切割流体的化学及/或物理性质;及调节该切割流体的化学组成以将所监测之性质保持或恢复至预定限制范围内。如请求项1之方法,其中调节该化学组成包含将补充量之切割流体的至少一种化学组分添加至该切割流体中以将所监测之性质恢复至预定限制范围内。如请求项1之方法,其中调节该化学组成包含添加一足使切割速率及品质保持在预定限制范围内之量的该切割流体的化学组分。如请求项3之方法,其中该所添加的化学品系选自由疏水性界面活性剂、氧化剂、消泡剂、增稠剂、腐蚀抑制剂、抗乾燥剂、酸或硷组成之群。如请求项4之方法,其中该所添加的化学品为消泡剂,且该消泡剂包含聚矽氧。如请求项4之方法,其中该所添加的化学品为消泡剂,且该消泡剂包含C8至C22醇。如请求项4之方法,其中该所添加的化学品为增稠剂,且该增稠剂包含纤维素化合物。如请求项4之方法,其中该所添加的化学品为增稠剂,且该增稠剂包含丙烯酸酯聚合物。如请求项4之方法,其中该所添加的化学品为腐蚀抑制剂,且该腐蚀抑制剂包含磷酸烷酯或胺基化合物。如请求项4之方法,其中该所添加的化学品为抗乾燥剂,且该抗乾燥剂包含一醇。如请求项4之方法,其中该所添加的化学品为抗乾燥剂,且该抗乾燥剂包含一盐。如请求项1之方法,其中该所监测的性质系选自由黏度、pH、密度、泡沫高度、金属线张力、固体百分率、氢气产生、该切割流体之温度、该切割流体之化学组分或水性载体之光学性质所组成之群。一种线锯切割装置,其包含:一基座及支撑头,其系适用于固定一工件;一线锯,其系相对于该基座及支撑头定位以使该工件在操作时可与该线锯接触;一应用区域,其系用于将来自一再循环切割流体分配系统的线锯切割流体施用于该线锯,该应用区域系经定位及适用于将切割流体输送至该线锯,该再循环切割流体分配系统界定一切割流体流动路径;一线锯切割流体出口区域,其系适用于引导切割流体流出该线锯及安装之工件并流回该再循环切割流体分配系统中;该再循环分配系统包含一取样管路以获得切割制程期间的切割流体之样品,从而监测该切割流体之一或多种化学及/或物理性质;或一感测器以用于监测该切割流体之一或多种化学及/或物理性质,或一取样管路及一感测器;及一化学添加剂进料管路,其系用于回应该监测以将化学品引入该再循环切割流体中并调节该切割流体的化学组成以使所监测之性质保持或恢复至预定限制范围内。如请求项13之装置,其中该所监测的性质系选自由黏度、pH、密度、泡沫高度、金属线张力、固体百分率、氢气生成、该切割流体之温度、该切割流体之化学组分或水性载体之光学性质所组成之群。如请求项13之装置,其中被引入该再循环切割流体中的化学品系选自由疏水性界面活性剂、氧化剂、消泡剂、增稠剂、腐蚀抑制剂、抗乾燥剂、酸或硷所组成之群。
地址 美国