发明名称 角速度感测器之温度特性设定方法及角速度感测器
摘要 本发明系求出含压电振动器(31)之振荡电路之振荡频率与起因于科里奥利力之压电振动器之感应电压频率之差即失调频率之温度特性,求出对于失调频率之灵敏度之关系,求出感应电压信号之相位角即科里奥利信号相位与振荡信号相位之差即检波相位之温度特性,求出对检波相位之灵敏度之关系,以利用与检波相位相关之对温度变化之灵敏度变化抑制与失调频率相关之对温度变化之灵敏度变化的方式,决定检波相位之移位量。
申请公布号 TWI379071 申请公布日期 2012.12.11
申请号 TW096113567 申请日期 2007.04.18
申请人 村田制作所股份有限公司 发明人 杉林英明
分类号 G01C19/56 主分类号 G01C19/56
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种角速度感测器之温度特性设定方法,其特征在于该角速度感测器系包含:压电振动器;驱动电路,其系构成含该压电振动器之振荡电路而驱动前述压电振动器;及同步检波电路,其系以前述振荡电路之振荡周期之特定相位角之检波信号对藉由起因于科里奥利力之前述压电振动器之振动所产生之感应电压信号进行同步检波,而输出对应于科里奥利力之电压信号即角速度检测信号;该温度特性设定方法系:求出前述振荡电路之振荡频率与前述感应电压信号之频率的差之频率即失调频率之温度特性;求出失调频率之灵敏度特性;求出前述感应电压信号之相位角即科里奥利信号相位与前述振荡电路之振荡信号相位之差即检波相位之温度特性;求出前述检波相位之灵敏度特性;利用前述失调频率之温度特性与前述失调频率之灵敏度特性,导出关于失调频率的灵敏度对于温度变化如何变化的失调频率之灵敏度变化特性;利用前述检波相位之温度特性与前述检波相位之灵敏度特性,导出关于检波相位之灵敏度对于温度变化如何变化的检波相位之灵敏度变化特性;以藉由前述检波相位之灵敏度变化抑制前述失调频率之灵敏度变化的方式,决定前述检波相位。一种角速度感测器,其系包含:压电振动器;驱动电路,其系构成含该压电振动器之振荡电路而驱动前述压电振动器;及同步检波电路,其系以前述振荡电路之振荡周期之特定相位角之检波信号对藉由起因于科里奥利力之前述压电振动器之振动所产生之感应电压信号进行同步检波,而输出对应于科里奥利力之电压信号即角速度检测信号;其特征在于进一步包含:移相(phase shift)电路,其系自前述驱动电路检测与前述振荡周期同步之振荡信号,并对前述同步检波电路输出相对该振荡信号移相过特定相位角之检波信号;其中根据失调频率之灵敏度变化特性及检波相位之灵敏度变化特性,而以藉由前述检波相位之灵敏度变化抑制前述失调频率之灵敏度变化的方式,决定前述移相电路之移相量;前述失调频率之灵敏度变化特性系以前述振荡电路之振荡频率与前述感应电压信号之频率的差之频率即失调频率之温度特性与失调频率之灵敏度特性所导出之关于失调频率之灵敏度对温度变化如何变化者;前述检波相位之灵敏度变化特性系利用前述感应电压信号之相位角即科里奥利信号相位与前述振荡电路之振荡信号相位之差即检波相位之温度特性与检波相位之灵敏度特性所导出之关于检波相位之灵敏度对温度变化如何变化者。
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