| 摘要 |
本创作系有关一种同时检测薄膜之热膨胀系数和双轴模量之装置，其包括一光源、一光处理装置、一镜组、二同结构之待测薄膜、一加热装置及一检测装置。光源发射之光束通过光处理装置及镜组后，因照射其中之一进行加热之待测薄膜而形成干涉合并。投射至影像撷取部而供撷取相对应之干涉条纹影像，重覆动作撷取对应另一待测薄膜之干涉条纹影像，并传送至该处理装置，供其透过公式运算检测得到待测薄膜之热膨胀系数及双轴模量。故，本案兼具干涉条纹影像即可检测待测薄膜之热膨胀系数与双轴模量相当方便、可检测待测薄膜之全域性平均热膨胀系数和双轴模量、可检测各向异性薄膜之双轴的热膨胀系数和双轴模量，与非接触式量测应用范围广等优点。 |
