减压装置及其所使用之无机材质多孔体

摘要

本发明之减压装置系具备对真空室内进行减压之排气机构者，其特征在于排气机构具备：一端与真空室连通、另一端与真空泵连通之主排气路；设于该主排气路上之第1开闭阀；一端经由主排气路或直接与真空室连通、另一端经由主排气路或直接与真空泵连通之低速排气路；在该低速排气路中与该低速排气路壁隔以间隔配设之圆筒形无机材质多孔体；及设于该低速排气路上之第2开闭阀。