具有雷射钻出通孔时形成缺陷之样品的追踪和标记

摘要

一种增加雷射处理靶材(2)时之处理样本(4)良率的方法与系统(10)，此靶材包括形成于一共用基板上之多个样本。较佳实施例实现一特征，其能在雷射处理系统中储存(22)在雷射处理期间因某种原因而受到错误所影响之有缺陷之样本之一列表。一旦已完全处理了共用基板，系统警示操作者不正确处理之样本数目，且给予操作者执行一软体例行程序(12)之机会，其在一较佳实施例中使用一雷射来在每个不正确处理之样本顶端表面上划出一标记。