藉由偏压反转防止微镜装置上电荷堆积

摘要

一种用以防止微电机系统上电荷堆积之方法与设备，尤其是在具有复数个微镜之微镜阵列装置中。电压系施加于该微镜上以致动该等微镜。介于镜面与电极间之电压差的极性会反转以防止电荷堆积。