发明名称 具有磷化铟铝镓/砷化镓驼峰式闸极之场效电晶体
摘要 本发明系关于一种具有磷化铟铝镓/砷化镓驼峰式闸极之场效电晶体,该位能障闸极系由n+-GaAs/p+-InAlGaP/n-GaAs或n+-GaAs/p+-InAlGaP/n-InAlGaP之异质接面结构所构成。在闸极设计方面,因为InAlGaP比InGaP有较大的能隙及位能障,InAlGaP/GaAs的ΔEc比InGaP/GaAs大,因此可有效的抑制电子注入通道层,另外,此元件亦具较佳的载子局限能力。再者,载子提供层的设计是采用Delta掺杂技术的使用,因此,这些元件可得到更大的输出电流、崩溃电压及输出功率。
申请公布号 TWI393258 申请公布日期 2013.04.11
申请号 TW098108155 申请日期 2009.03.13
申请人 国立东华大学 花莲县寿丰乡大学路2段1号 发明人 林育贤
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址 花莲县寿丰乡大学路2段1号