| 摘要 |
一种半导体制程装置，包含支撑架、门板机构、外壳、加热源总成、气体管线总成及自动门板致密机构，门板机构连接支撑架，带动支撑架移动；外壳具有开口，使支撑架进入/退出外壳，并与门板机构形成制程腔，自动门板致密机构包含气压/液压管线、制动器、导引装置、滑块及凸轮，凸轮设置于门板及外壳的侧边，且以相同水平设置，门板机构与外壳关闭时，制动器推动导引装置向上，进而推动滑块，使滑块的凹形处接触凸轮，使门板机构与外壳之间的间隙密合，避免外部空气渗入制程腔体造成扰流，使腔体内的制程气体分布更佳均匀，进而提升制程良率。 |
