多孔性金属薄膜，制备彼之方法，及电容器

摘要

由铝所形成之多孔性金属薄膜具有离散分布在5奈米或更大且40奈米或更小之平均距离的多个区域之膜构造，其中该区域具有200奈米或更大且500奈米或更小之平均直径及系透过凝集多个具有50奈米或更大且160奈米或更小之平均颗粒直径的颗粒而形成，其中上述区域在该多孔性金属薄膜任何方向之截面所占据之面积为60%或更大且90%或更小。