| 发明名称 |
主动矩阵基板、显示装置及主动矩阵基板之制造方法 |
| 摘要 |
本发明之主动矩阵基板(1)具备源极电极(32)、汲极电极(33)、及包含氧化物半导体之半导体层(31)，在闸极电极(12a)上形成有包含氧化矽之闸极绝缘层(42)，在闸极绝缘层(42)上形成有源极电极(32)、汲极电极(33)、及半导体层(31)，在闸极绝缘层(42)上形成有未覆盖半导体层(31)之包含氮化矽之第1保护层(44)，在半导体层(31)上形成有包含氧化矽之第2保护层(46)。第1保护层(44)系覆盖讯号线(14)及源极连接线(36)。 |
| 申请公布号 |
TWI406420 |
申请公布日期 |
2013.08.21 |
| 申请号 |
TW101111182 |
申请日期 |
2012.03.29 |
| 申请人 |
夏普股份有限公司 日本 |
发明人 |
美崎克纪 |
| 分类号 |
H01L29/786;H01L21/336;H01L21/28;H01L29/423 |
主分类号 |
H01L29/786 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼;林宗宏 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
