微机电探针及其制作方法

摘要

于一基板上制造一微机电(micro-electro-mechanical system；MEMS)探针，以供用于一探针卡。该探针具有一接合面，该接合面将被附着至探针卡之一应用平台。该接合面系形成于一垂直于该基板之一表面之平面上。于该探针下面形成一底切(undercut)，用于将探针自基板分离。