发明名称 切割晶片接合膜
摘要 本发明系有关于一种置放于半导体矽晶圆与切割支撑胶带之间的切割晶片接合黏着膜,其包含一与切割胶带接触的层-1黏着剂,及一与半导体矽晶圆接触的层-2黏着剂,其中层-2对于矽晶圆的黏着性高于层-1对于切割胶带的黏着性至少0.1牛顿/公分。
申请公布号 TWI414011 申请公布日期 2013.11.01
申请号 TW096132166 申请日期 2007.08.30
申请人 汉高股份有限两合公司 德国 发明人 陈华日
分类号 H01L21/304;C09J7/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 黄庆源 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;陈彦希 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址 德国