| 摘要 |
(课题);对于外力不容易使得输出变化，实现可将高感度与耐冲击性予以并存的加速度感测器。;(解决手段);一种具盖之加速度感测器元件，系为具有：锤部；包围锤部的支撑框部；将锤部连接于支撑框部且具有支承之可挠性的复数梁部；及设于梁部上的及连接此些压电电阻元件的配线，其中将支撑框部与锤部的周围一起包围的上盖及下盖被接合于支撑框部的表背面，由压电电阻元件的电阻变化；检测出接合厚度方向的第1轴，及垂直于其的平面内的第2轴及在上述平面内垂直于第2轴的第3轴的三个轴方向，或是此些的任一轴方向的加速度的具盖之加速度感测器元件，其特征为：支撑框部是藉由分离沟被分离成内框与包围内框的周围的外框，上盖及下盖是被接合于外框，内框是藉由具有可挠性的复数内框支撑部被连接于外框，上述梁部是沿着第2轴与第3轴被连接于锤部的两侧，内框支撑部是从上述第2轴与第3轴旋转大约45度的方向而被连接于内框的两侧。 |
