| 发明名称 |
钛错合物及其制造方法、与含钛薄膜及其制造方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI428344 |
申请公布日期 |
2014.03.01 |
| 申请号 |
TW098120854 |
申请日期 |
2009.06.22 |
| 申请人 |
东曹股份有限公司 日本;财团法人相模中央化学研究所 日本 |
发明人 |
多田贤一;山本俊树;千叶洋一;岩永宏平;摩庭笃;肆矢忠宽;大岛宪昭 |
| 分类号 |
C07F7/28;C23C16/18;H01L21/285;B01J21/06 |
主分类号 |
C07F7/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
