用于使用改良的摩擦测量来进行基板抛光检测的系统和方法

摘要

本发明揭示抛光基板的方法、装置及系统。该装置包括上部平台；扭矩/应变测量仪，该扭矩/应变测量仪耦接至上部平台；以及下部平台，该下部平台耦接至扭矩/应变测量仪并适于经由扭矩/应变测量仪驱动上部平台旋转。在其他实施例中，该装置包括第一托架；耦接至第一托架的侧向力或位移测量仪；及耦接至侧向力或位移测量仪的第二托架，且其中第一托架与第二托架中之一适于支撑抛光头。本发明揭示多个额外方面。

主权项

一种抛光基板的装置，所述装置包含：第一托架；侧向力测量仪，所述侧向力测量仪耦接至所述第一托架；以及第二托架，所述第二托架耦接至所述侧向力测量仪，且其中所述第一托架与所述第二托架中之一适于支撑抛光头。