| 摘要 |
<p>コーティング装置は、コーティング層をモノリス基材に塗布する場合、モジュール形式のインターフェース部材群と、そして種々の形状及びサイズのモノリス基材を収容する基材用レセプター群と、を含む。これらのモノリス基材は、弾性変形スリーブによって側方を取り囲まれ、この弾性変形スリーブは、モノリス基材の両側端部を真空引きするときのモノリス基材からの真空側方漏れを防止することにより、嵩張る真空チャンバの必要を無くすことができる。コーティング装置は更に、バルブ群及び制御装置を含むことにより、余分の前駆体液を、更に別のスピン乾燥工程を用いることなく、モノリス流路群からその場で排出することができる。コーティング装置を使用するコーティング方法が提供される。</p> |
