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Triangulierende Autofokuseinrichtung (21) für ein Mikroskop (40) mit einer Autofokus-Aperturblende (5, 6), die lediglich eine Blendenöffnung (3, 4) zur Begrenzung des Querschnitts eines in Richtung der optischen Achse (18) der Autofokuseinrichtung (21) verlaufenden Messstrahlenbündels (34) und zur Erzeugung eines Autofokus-Messstrahls (36) aufweist, und mit einer Autofokussieroptik (25, 26), um unter Verwendung eines Objektivs (10) des Mikroskops (40) mittels des Autofokus-Messstrahls (36) ein Messmuster auf einem Objekt zu erzeugen, wobei die Blendenöffnung (3, 4) der Autofokus-Aperturblende (5, 6) dezentriert mit Abstand zur optischen Achse (18) der Autofokuseinrichtung (21) angeordnet ist, wobei durch die Blendenöffnung (3, 4) in einer Hälfte des Querschnitts (17) des Messstrahlenbündels (34) ein dezentrierter Autofokus-Messstrahl (36) erzeugbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei unterschiedliche Autofokus-Aperturblenden (5, 6) vorgesehen und alternativ auswählbar und in den Messstrahlengang einsetzbar sind, deren jeweilige Blendenöffnungen (3, 4) in unterschiedlichen Abständen zur optischen Achse (18) der Autofokuseinrichtung (21) angeordnet sind, wobei die Blendenöffnungen (3, 4) zweier der mindestens zwei Autofokus-Aperturblenden (5, 6) sich in ihrer Projektion auf den Querschnitt (17) des Messstrahlengangs (34) nicht überlappen. |
