发明名称 柔性显示装置的制备方法及用于制作柔性显示装置的基板
摘要 一种柔性显示装置的制备方法及用于制作柔性显示装置的基板,所述柔性显示装置的制备方法包括:在硬性基板上沉积第一缓冲层,对第一缓冲层进行刻蚀,在第一缓冲层的表面上形成多个凹槽;在第一缓冲层上依次沉积第一金属层、第二缓冲层,第二缓冲层的厚度大于或等于第一金属层的厚度;在第二缓冲层上依次沉积有机物膜层和第二金属层;在第二金属层上制备显示器件,并对显示器件进行封装,形成封装层;沿着第一缓冲层的边缘的位置进行切割,并利用溶液对第一缓冲层和第二缓冲层进行溶解,使有机物膜层与所述硬性基板分离。上述柔性显示装置的制备方法及用于制作柔性显示装置的基板,能更容易将有机物膜层从基板上剥离下来,提高了剥离的时间。
申请公布号 CN104319263A 申请公布日期 2015.01.28
申请号 CN201410649218.X 申请日期 2014.11.14
申请人 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 发明人 卜凡中;赵景训;徐磊;郭瑞;秦心宇
分类号 H01L21/77(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I 主分类号 H01L21/77(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 唐清凯
主权项 一种柔性显示装置的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在硬性基板上沉积第一缓冲层,对所述第一缓冲层进行刻蚀,在所述第一缓冲层的表面上形成多个凹槽;在所述第一缓冲层上沉积第一金属层;在所述第一金属层上沉积第二缓冲层,所述第二缓冲层的厚度大于或等于所述第一金属层的厚度;在所述第二缓冲层上沉积有机物膜层,并在所述有机物膜层上沉积第二金属层;在所述第二金属层上制备显示器件,并对所述显示器件进行封装,形成封装层;其中,所述封装层的边缘和对应的所述硬性基板的边缘之间有水平距离;沿着所述第一缓冲层的边缘位置进行切割,并利用溶液对所述第一缓冲层和所述第二缓冲层进行溶解,使所述有机物膜层与所述硬性基板分离。
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