用阴极溅射制作方向层的方法及其实施装置

摘要

本发明涉及用阴极溅射制作方向层的方法及其实施装置。具体地，提供了一种用阴极溅射在衬底的平面衬底表面上制作带有恒定法向方向性的方向层的装置，所述装置具有真空腔，所述真空腔中放置有至少一个靶，而且所述真空腔包含有至少一个适于以如下方式来连接衬底的支架，即使得衬底表面面向所述至少一个靶的靶表面，而且在所述靶表面和所述支架之间设置至少一个准直仪，所述准直仪带有基本平坦的板，这些基本平坦的板彼此平行并被对齐在与所述衬底表面正交的方向中，而且所述板的平均长度从所述准直仪的中心向外端减小。此外，本发明还提供了一种在平面衬底表面上涂覆磁性层的方法。

主权项

一种用阴极溅射在衬底的平面衬底表面上制作带有恒定法向方向性的方向层的装置，所述装置具有真空腔，所述真空腔中放置有至少一个靶，而且所述真空腔包含有至少一个适于以如下方式来连接衬底的支架，即使得衬底表面面向所述至少一个靶的靶表面，而且在所述靶表面和所述支架之间设置至少一个准直仪，所述准直仪带有基本平坦的板，这些基本平坦的板彼此平行并被对齐在与所述衬底表面正交的方向中，而且所述板的平均长度从所述准直仪的中心向外端减小。