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发明名称
陰性造影組成物を用いた多光子硬化方法
摘要
<p>本開示は、陰性造影が起こる条件下で光硬化性組成物を硬化させるための多光子吸収方法に関する。この光硬化性組成物には、フリーラジカル重合可能な化合物が含まれる。この方法は、マイクロメートルスケール又はそれより小さい寸法の構造作製に適用される。</p>
申请公布号
JP2015512061(A)
申请公布日期
2015.04.23
申请号
JP20140559919
申请日期
2013.02.18
申请人
发明人
分类号
G03F7/004;C08F2/50;G03F7/029;G03F7/031;H01L21/027
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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