放射線検出パネルの製造装置及び放射線検出パネルの製造方法

摘要

放射線検出パネルの製造方法は、蒸発源より鉛直上方側で、光電変換基板（２１）の蒸着面が蒸発源に露出しかつ鉛直軸に対して斜めとなる状態に光電変換基板を配置する。蒸発源により、シンチレータ材を蒸発させ鉛直上方へ向けて放射し、上記蒸着面上にシンチレータ材を蒸着させ蛍光体膜を形成する。