| 主权项 |
一种计测方法，系从藉由带电粒子束装置取得之包含图样(pattern)的试料图像，来计测前述图样的轮廓之计测方法，其特征为，具备：第1步骤，抽出构成前述图样的轮廓之边缘点；第2步骤，在前述边缘点当中，于第1边缘点的邻近，取得第1亮度分布(luminance profile)；第3步骤，在前述边缘点当中，于第2边缘点的邻近，取得第2亮度分布；第4步骤，在前述边缘点当中，于第3边缘点的邻近，取得第3亮度分布；第5步骤，依据所取得的前述第1亮度分布与前述第2及第3亮度分布，来求出前述第1亮度分布的形状之评估值；及第6步骤，依据前述评估值，进行前述第1边缘点的图样之轮廓修正。 |
